一般三坐标校准保养过程主要包括以下几部分：

1、检查电脑和有关备份文件；

2、清理三坐标导轨；

3、检查外罩；

4、检查所有的气路系统，更换老化的气管；

5、检查气体过滤机构，并对之进行基本保养和维护

；

6
、检查z轴安全保护装置，检查气动平衡机构；

7、检查和清洗气浮轴承
；

8、检查调整电气和机械行程开关；

9、检查和调整传动机构，并做常规保养

；

10、检查和调整测量机水平
；

11、检查和调整三坐标横梁与xY工作平面的平行；

12
、最好用激光干涉仪检测和补偿测量机各轴误差。

（来源：测量俱乐部）